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코주부

2018.03.10

전기&전자

반도체 '神의 영역' 2나노미터 공정시대 온다

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반도체 '神의 영역' 2나노미터 공정시대 온다

 

 

반도체 업계가 미세공정 분야의 오랜 기술 과제를 해결하기 위해 극자외선(EUV) 노광장비 도입에 박차를 가한다. 삼성과 SK하이닉스를 비롯해 인텔과 대만 TSMC 등은 현재 EUV 장비를 구입했거나 향후 도입할 예정인 것으로 알려졌다.

 

 

 

이로써 업계는 EUV를 통한 미세공정 기술개발에 매진해 머지않아 '神의 영역'인 2나노미터(nm) '초(超)미세공정' 시대를 열겠다는 목표다.

 

 

 

9일 업계에 따르면 글로벌 반도체 기업들은 자사 반도체 생산라인에 EUV 공정 방식을 도입하기 위해 노광장비 구매에 주력하고 있는 것으로 알려졌다.

 

 

 

특히 삼성전자는 지난달 23일 경기도 화성캠퍼스에 착공한 EUV 전용 공장을 내년 하반기까지 완공한다는 계획에 맞춰 신속히 장비를 사들이고 있다.

 

 

 

EUV는 향후 업체간의 기술 차이를 결정짓는 바로미터가 될 것으로 점쳐진다. 장비 보유 대수, 활용 숙련도에 따라 미세공정의 승패가 갈릴 것이라는 판단에서다. 또 이 공정을 어떻게 잘 이용하느냐에 따라 5나노, 더 나아가 2나노 이하의 초미세공정을 실현하는 기업이 가려질 것이란 게 업계의 중론이다.

 

 

 

이런 가운데, SK하이닉스 역시 EUV 도입을 준비하고 있어 주목된다. SK하이닉스 관계자는 지난달 진행된 실적발표 컨퍼런스콜에서 "EUV 노광장비는 2019년 이후 1z(10나노대 초반) 공정부터 일부 활용할 계획"이라며 "새로운 기술로 나아가는 관점에서 (EUV) 도입을 바라보고 있다"고 밝혔다.

 

 

출처 : http://v.media.daum.net/v/20180309091401125

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